| نویسندگان | B. Rezaei,M. Kalafi |
|---|---|
| نشریه | Materials Science in Semiconductor Processing |
| شماره صفحات | 159 |
| شماره مجلد | 10 |
| نوع مقاله | Full Paper |
| تاریخ انتشار | 2007 |
| رتبه نشریه | ISI |
| نوع نشریه | چاپی |
| کشور محل چاپ | ایرلند |
چکیده مقاله
| نویسندگان | B. Rezaei,M. Kalafi |
|---|---|
| نشریه | Materials Science in Semiconductor Processing |
| شماره صفحات | 159 |
| شماره مجلد | 10 |
| نوع مقاله | Full Paper |
| تاریخ انتشار | 2007 |
| رتبه نشریه | ISI |
| نوع نشریه | چاپی |
| کشور محل چاپ | ایرلند |